光學(xué)微電子潔凈廠房

2016-05-27 00:58:38 作者：admin 出處：科瓦特

方案簡(jiǎn)介：

光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室，目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板

制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來，由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展，對(duì)于產(chǎn)

品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切，如超大型積體電路之研究制造，已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展

上極為重視的項(xiàng)目，而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于地位。

光學(xué)微電子凈化工程之定義為將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排

除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一

需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。

無塵車間/潔凈室的目的如下：

功能一：過濾循環(huán)空氣建議無塵環(huán)境，

功能二：調(diào)節(jié)空氣建立恒溫恒濕環(huán)境。

功能三，建立正壓環(huán)境避免外氣污染

光學(xué)微電子凈化工程一般包括：

1、潔凈生產(chǎn)區(qū)

2、潔凈輔助間（包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等）

3、管理區(qū)（包括辦公、值班、管理和休息等）

4、設(shè)備區(qū)（包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房）

光學(xué)微電子凈化工程凈化原理

氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒

→ 回風(fēng)百葉窗→初效凈化重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。